中國秘密推進EUV光刻機 美歐加緊構筑技術聯盟應對(圖)
在深圳一處安保嚴格的實驗設施內，中國科研人員正在測試一臺極紫外光（EUV）光刻機原型。該設備於2025年初完成組裝，目前仍處於驗證階段，尚未實現晶元量產。...
極紫外光（EUV）光刻機
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晶元
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